C6 Reinraum-Energiekette mit Führungssystem e-spin

Neuartige Reinraumlösung für Verfahrwege bis zu 30 Meter

Die neue Variante der C6-Reinraumenergiekette mit besonderem Führungssystem ermöglicht es Herstellern, die Vorteile kompakter und langlebiger Energieketten für Energie- und Datenführung auch auf sehr langen Verfahrwegen in der Produktion innerhalb eines Reinraums zu nutzen.

Unsere neu entwickelte Reinraumlösung für Verfahrwege bis zu 30 Metern bietet hier entscheidende Vorteile:

Abriebarm und ISO-zertifiziert durch das Fraunhofer IPA
Zuverlässig bei langen Verfahrwegen
Modular und wartungsarm – ideal für den Einsatz in hochautomatisierten Reinraumumgebungen

Jetzt Reinraum-Führungssystem e-spin anfragen

Technik verbessern

Innovative Reinraumlösung mit besonderer Führung, sodass auch auf langem Weg kaum Partikel entstehen

Kosten senken

Sichere Strom- und Datenversorgung ohne weitere Partikelemission auf langen Transportwegen in einem System

Beweise

Komplettsystem mit 8 Metern vom Fraunhofer IPA mit ISO Klasse 1-4 zertifiziert

Nachhaltigkeit

Höherer Produktionsertrag durch Partikel-Reduktion schont Ressourcen

Automatisierter Wafer-Transport in Reinräumen

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Dotierung und Metallisierung. Diese Prozesse finden in unterschiedlichen Anlagen statt, die oft räumlich weit voneinander entfernt sind. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen übernehmen automatisierte Materialtransportsysteme (AMHS – Automated Material Handling Systems) den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten (FOUPs – Front Opening Unified Pods) über lange Strecken. Eine bewährte Lösung ist der Overhead Hoist Transport (OHT) – ein schienengeführtes Transportsystem, das die FOUPs über Kopf bewegt und dabei Reinraumflächen optimal nutzt.

Neben dem Transport ist auch die Lagerung in sog. Stockern extrem wichtig. Diese Systeme stellen hohe Anforderungen an die Energie- und Datenversorgung. Sie benötigen zuverlässige Energieführungen für: die Stromversorgung der OHT-Einheiten, die Datenübertragung (z. B. Ethernet, Sensorik), die sichere Kabelführung in dynamischen und oft beengten Reinraumumgebungen.

Energiekettensystem C6 für Reinraumanwendungen

Höchste Reinraumeignung, kaum Abrieb, hohe Stabilität

Abriebfestigkeit ist der entscheidende Parameter bei Energieketten-Anwendungen im Reinraum. Die Energiekette der Serie C6 setzt hier Maßstäbe. Der Abrieb ist kaum messbar. Besser geht es kaum: Auch bei hoher Beanspruchung lässt sich bei der neuen Reinraum-Energiekette C6 kein Abrieb messen. Weitere Vorteile sind ein extrem leiser Lauf und eine einfache Montage.

[NEU] Ab sofort auch in der Innenhöhe 22 mm. Optimiert mit vollstetigem Design im Außenradius und als Standard mit Öffnungsstegen plus Innenaufteilung aus iglidur J, dem besten Gleitpartner für jedes Leitungsmantel- oder Schlauchmaterial . Außerdem sind im Standard die Seitenteile aus tribo-optimiertem Low-Wear ESD-Material für ableitfähige Seitenbänder. Des Weiteren lässt sich durch das neue Montage Tool die Kette jetzt noch einfacherer und schneller öffnen.

Typische Anwendungsbereiche: Elektrofertigung, Halbleiterindustrie, FPD Produktion, Mikroelektronik, Panel-Roboter, Verpackung, Plotter, Medizintechnik

Zu Energiekettenserien C6