Energieketten, Leitungen und Lagertechnik für die Mikroelektronik

Ein Partikel, für das Auge nicht sichtbar, kann Mikroelektronik zerstören und die Gesamtanlageneffektivität (GAE) senken. Entsprechend bemühen sich Produzenten, die Luft in Produktionsräumen rein zu halten. igus unterstützt sie dabei – mit reinraumtauglichen Energieführungen und Leitungen, die aus abriebfesten Hochleistungskunststoffen bestehen. Unsere Lösungen sind zudem ESD-tauglich, kostengünstig und erlauben dank ihrer Modulbauweise jederzeit eine flexible Erweiterung. Zum Einsatz kommen sie unter anderem in Maschinen und Anlagen für Pick-and-Place Aufgaben, die kamera- und sensorgestützte Qualitätskontrolle und die Verpackung.

Einsatzbereiche

Mikroskop bearbeitet einen Halbleiter-Wafer in einer Reinraum-Anlage.

Halbleiterindustrie

Greifkopf positioniert Glasplatten im Produktionsprozess.

Displayindustrie

Batteriezellen in einer Fertigungslinie für E-Auto-Packs im Inneren der Fabrik.

Batteriefertigung

Ausgewählte Produkte für die Mikroelektronik

Drycleanroom energy chains mit Prüfsiegel von Fraunhofer IPA und zwei geführten Leitungen.

Flaches Kabelführungssystem

Reinraumtauglich nach IPA ISO Klasse 1
Modularer, kompakter Aufbau
Leitungen minutenschnell austauschbar
Optional mit abgestimmtem Verseilgebinde CFCLEAN für hohe Ausfallsicherheit

e-skin flat

Drycleanroom energy chains mit Fraunhofer IPA Test Device für Reinraum-Anwendungen.

Zweiteilige Wellrohre

Reinraumtauglich nach IPA ISO Klasse 1
Zweiteilig, bestehend aus Ober- und Unterschale
Schnelle Montage durch Reißverschluss-Öffnungsprinzip
Für schnelle, kurze freitragende Anwendungen

e-skin Wellrohre

Kettenförderer für die Batterieproduktion mit Fraunhofer-IPA-Testlogo.

e-kette für hohe Dynamik

Reinraumtauglich nach IPA ISO Klasse 1
Optimiertes Design ohne messbaren Abrieb
Besonders leiser Lauf
Seitenteile aus ESD-Material verhindern statische Aufladung

e-kette C6

CHAINFLEX CLEAN Kabel mit freigestelltem Hintergrund, vier Varianten und eine mit Luftkanal.

Leitungen im Reinraum

Mit hochabriebfesten Mantelwerkstoffen
Garantierte Lebensdauer von 20 Mio. Hüben bei einem Radius von 70 mm
Die Kombination aus CFCLEAN und e--skin flat ist zertifiziert Reinraum Klasse 1

Reinraum-Leitungen

drylin T-Linearschlitten mit seitlicher Führung und montiertem Profil.

Trockenlaufende Linearführungen

Keine Schmierung oder Wartung
Für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6 bis 3 zertifiziert
Besonders leiser Lauf

drylin Linearführungen

Drycleanroom bearing für Reinraumanwendungen mit IPA-Zertifizierung.

Drehkranzlager für geringste Parikelemissionen

Einbaufertiges Drehkranzlager für den schmiermittelfreien Trockenlauf
Wartungsfreie Gleitelemente mit geringer Partikelemission
Ringen aus leichtem anodisiertem Aluminium

Drehkranzlager PRT-04

Kugellager mit weißen Kunststoffringen und Stahlkugeln, freigestellt.

Schmier- und wartungsfreie Kugellager

Kugellager aus Hochleistungskunststoffen für den reibungsarmen Trockenlauf
Rund 50 % günstiger und leichter als herkömmliche Kugellager aus Edelstahl

xiros Kugellager

Barstock aus Kunststoff in verschiedenen Farben und Formen gestapelt.

Halbzeuge für individuelle Bauteile

Aus speziell für die Bewegung konzipierten iglidur Werkstoffen gefertigt
Selbstschmierend, sehr niedrige Reibwerte und extreme Verschleißfestigkeit
Auch 3D-Druck ab Stückzahl 1 möglich

Halbzeuge

Vergleich von e-skin flat und CFLEAN mit zwei Kabeltrassen und gebogenen Führungswegen.

Fertig konfektionierte Leitungen

Leitungen mit Steckern und fertig konfektioniert geliefert
Montagezeit- und Kosten einsparen
Lange und berechenbare Lebensdauer dank umfangreicher Tests und Qualitätsprüfungen

readycable

SLW-1040 Cleanroom-Linearantrieb mit Fraunhofer TESTED DEVICE-Zertifikat.

Schmierfreie Spindellinearachsen

Schmierfreie Linearmodule mit Spindelantrieb
Konstruiert für eine minimale Partikelemission
Zertifiziert nach ISO-Klasse 4

SLW-Linearachse

Linearachse mit zwei Schlitten für Reinraum-Anwendungen.

Präzise Zahnriemenachsen

Schmier- und wartungsfreier Betrieb
Für präzise Positionier- und Verstellaufgaben
Lange Lebensdauer

ZLW-Linearachse

Erfolgreich im Einsatz

Ableitfähige ESD-Energieketten und schmierfreie Lager in der Prüfung von Leiterplatten

Um Leiterplatten auf ihre fehlerfreie Funktion zu überprüfen, werden bspw. Flying Probe Tester eingesetzt. Nadeln berühren und messen unter Beschleunigungen von bis zu 15 g die Elektronikkomponenten wie etwa Platinen. Damit die Testköpfe zuverlässig mit Energie- und Daten versorgt werden, kommen im Flying Probe Tester von SPEA ableitfähige ESD-Energieketten zum Einsatz. drylin Linearlager erlauben zudem die komplett schmier- und wartungsfreie Formatverstellung, ohne die Kontamination der Elektronikkomponenten zu riskieren.

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Energiekette führt Kabel in einem Flying-Probe-Tester von SPEA.

Langlebige Energieführungen für Positioniersysteme in der Elektronikfertigung

Die Jenaer Antriebstechnik GmbH setzt in ihren Belichtungs- bzw. Laserstrukturiersystemen auf unsere fertig konfektionierten readychain systeme. Zum sicheren Führen der Antriebs-, Messsystem- und Druckluftleitungen sowie weiterer Medien in der Positioniereinheit kommen Energieketten aus dem reinraumtauglichen E6- und E3-Programm zum Einsatz, inklusive Zugentlastung, Stecker, Führungsrinne und Befestigungsblechen.

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igus Automatisierungssystem mit Kabelschleppketten und Metallbaugruppen in einer technischen Anlage.

Klebstoffspender für Kameramodule

Das Hauptprodukt der Firma Mingseal ist ein Klebstoffspender für Kamera-Module. Wegen der hohen Anforderungen an die Partikelfreiheit kamen hier zunächst verschweißte Energieführungen zum Einsatz, die den schnellen Leitungsaustausch unmöglich machten, aber gleichzeitig zu einem erhöhten Verschleiß der Leitungen führten. Heute setzt der Hersteller auf die nach ISO-Klasse 1 reinraumtaugliche Energiekette e-skin. Das aus Ober- und Unterschale bestehende Wellrohr für Reinräume lässt sich einfach und schnell öffnen, ist kompakt und schnell verbaut.

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Anlage im Cleanroom mit automatischem Dispenser für Kameramodule.

Spezialleitungen und Energieketten für SMD-Bestückungsautomaten

Für eine neue Serie ihrer Bestückungsautomaten war die Firma Assembléon auf der Suche nach Leitungen, die bei den vielen äußerst schnellen Hubbewegungen mindestens 400 Mio. Hüben standhalten. Durch unsere chainflex Leitungen in Verbindung mit Energieketten profitiert der Kunde heute von minimaler Abnutzung und höchster Ausfallsicherheit.

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Pick-and-place-Maschine für die Leiterplattenbestückung mit mehreren Zuführungen und Bedienfeldern.

Anhaltend zuverlässige Leiterplattenbestückung mit chainflex und e-ketten

Der „Speedmounter“ von IPTE kann mit einem Revolverkopf bis zu zwölf unterschiedliche Bauteile gleichzeitig aufnehmen und mit diesen die Leiterplatte bestücken. Allerdings kam es in der Vergangenheit aufgrund von Leitungsproblemen häufig Einschränkungen in der Verfügbarkeit der Anlagen. Mit unseren hochflexiblen chainflex Steuer- und Servoleitungen und verschiedenen Energieketten ist das Problem gelöst.

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PCB-Assembler von IPTE mit E-Chains und chainflex-Kabeln in einer Microelectronics-Anlage.

Reibungslose Bewegung im Sensorprüfstand

Die Firma Hoffmann + Krippner stellt hoch spezialisierte Eingabesysteme, gedruckte Elektronikbauelemente und Komponenten für das Internet of Things her. Damit die Kunden in ihren vielfältigen Branchen immer die beste Qualität geliefert bekommen, durchlaufen die Produkte eine Inhouse-Qualitätsprüfung. Die läuft automatisiert in einer Prüfzelle ab, in der unsere angetriebenen drylin Linearachsen und Energieketten für eine zuverlässige Bewegung sorgen.

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Messstand für Mikroelektronik mit Sensorprüfkopf, drylin ZLW und e-chain von igus.

Luftgelagerter Lineartisch für hochpräzise Verstellungen

Eine e-skin flat SKF12.4.03.01.1 als 4-facher Layer sorgt zusammen mit PVC & TPE Leitungen von igus für die zuverlässige Energieversorgung eines luftgelagerten Lineartisches.

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e-skin flat leitet Kabel in einer automatisierten Anlage.

Energieführungen in der Halbleiter-Fertigung

Bei der Produktion des Fixloads braucht es reine Luft. Das liegt an dem sehr sensiblen Einsatzbereich der Beladeschnittstelle für 300 mm Wafer-Prozessgeräte in der Halbleiterfertigung. Da die zu prozessierenden Wafer beim Beladen ungeschützt der Umgebung ausgesetzt sind, darf das technische Zubehör keine Partikel erzeugen.
Daher kommt hier eine abriebfeste Energieführung zum Einsatz, die in Reinräumen der ISO-Klasse 3 (nach DINE EN ISO 146441-1) verwendet werden kann.

Reinraum-Prüfgerät mit transparentem, orangefarbenem Schutzgehäuse auf einem Standfuß.

Wafer-Handling

Mit der e-kette E6 ist die Energiezuführung bei Beschleunigungen von bis zu 4 m/s2 bei Geschwindigkeiten von bis zu 6 m/s kein Problem beim Wafer-Handling in der Chip-Produktion.