Reinraumtauglich auf langem Weg

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Dotierung und Metallisierung. Diese Prozesse finden in unterschiedlichen Anlagen statt, die oft räumlich weit voneinander entfernt sind. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Eine bewährte Lösung ist der Overhead Hoist Transport (OHT) – ein schienengeführtes Transportsystem, das die FOUPs über Kopf bewegt und dabei Reinraumflächen optimal nutzt. Neben dem Transport ist auch die Lagerung in sogenannten Stockern extrem wichtig. Diese Systeme stellen hohe Anforderungen an die Energieführung: Die Leitungen für die Stromversorgung der OHT-Einheiten und die Datenübertragung müssen in dynamischen und oft beengten Reinraumumgebungen zuverlässig geführt werden - dafür bietet igus jetzt eine innovative neue Lösung.

• Abriebarm und ISO-zertifiziert durch das Fraunhofer IPA
• Zuverlässig bei langen Verfahrwegen
• Modular und wartungsarm – ideal für den Einsatz in hochautomatisierten Reinraumumgebungen

Abriebfestigkeit ist der entscheidende Parameter bei Energieketten-Anwendungen im Reinraum. Die Energiekette der Serie C6 setzt hier Maßstäbe. Der Abrieb ist kaum messbar. Besser geht es kaum: Auch bei hoher Beanspruchung lässt sich bei der neuen Reinraum-Energiekette C6 kein Abrieb messen. Weitere Vorteile sind ein extrem leiser Lauf und eine einfache Montage.

Technik verbessern:

• Optimiertes Design ohne messbaren Abrieb
• Für Anwendungen der ISO-Reinraumklasse 1
• Hohe Stabilität durch robustes Anschlagsystem
• Hohe Laufruhe durch aufgespritztes Dämpfungselement
• Seitenteile aus ESD-Material verhindern statische Aufladung